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多重曝光，缩短光刻制程差距
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韭研公社 2024-09-18T15:52:13.000000Z
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韭研公社 2024-09-18T14:37:17.000000Z
国产光刻机 利用多重曝光可减少与国外差距
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今天你必须看懂（光刻机）
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守了挺久掩膜板了，也是因为看好半导体的自主可控。现在被进一步限制先进制程gkj出口，目前破解手段也只有多重曝光来制造高精度芯片。国产gkj即使短期造出来，可...
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