韭研公社 2024年09月18日
当光刻机性能不足时,多重曝光是变相提升芯片制程的唯一办法
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光刻机性能不足时,多重曝光可提升芯片制程,如ASML的1980Di光刻机采用此技术可生产更先进制程芯片,美国制裁下,低端光刻机加此技术可提高制程,文中还探讨了相关问题。

🦘光刻机的性能对芯片制程有重要影响。不同型号光刻机有相应光刻精度,如ASML的1980Di光刻机原本适合制造28nm,引入多重曝光技术后可生产14nm甚至7nm制程芯片。

🌐在美国制裁高端光刻机的背景下,通过低端光刻机结合多重光刻技术,能够变相提高芯片制程,为芯片制造提供了新的思路和方法。

❓文章按照公布一代,测试一代,研发一代的逻辑进行探讨,并提出疑问,此次公布65nm光刻机,是否意味着28nm甚至14nm的也在研发中,以及华为芯片的来源问题。


当光刻机性能不足时,多重曝光是变相提升芯片制程的唯一办法 不同型号光刻机有着相对应的光刻精度,比如ASML的1980Di光刻机,适合制造28nm,但引入“多重曝光”技术后,1980Di型号光刻机也可以生产14nm,甚至7nm制程芯片 这意味着在美国制裁高端光刻机的背景下,通过低端光刻机+多重光刻技术可以提高芯片制程。 按照公布一代,测试一代,研发一代。 此次公布65nm光刻机,是否意味着28nm,甚至14nm的也在路上。 要不然华为的芯片从哪里来的呢? 什么是多重曝光? 为了追求更高的图形密度和

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