韭研公社 2024年09月19日
多重曝光,缩短光刻制程差距
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光刻机性能不足时,多重曝光可提升芯片制程,如ASML的1980Di光刻机采用该技术可生产更先进制程芯片,在高端光刻机受限背景下,此技术意义重大。

💡多重曝光技术是在光刻机性能不足时提升芯片制程的关键方法。不同型号光刻机有对应光刻精度,以ASML的1980Di光刻机为例,原本适合制造28nm,引入多重曝光技术后,可生产14nm甚至7nm制程芯片,充分展示了该技术的强大作用。

📌在美国制裁高端光刻机的情况下,通过低端光刻机结合多重光刻技术提高芯片制程成为可能。这为应对制裁、实现芯片制程的提升提供了新的思路和方法。

🤔按照公布一代,测试一代,研发一代的规律,此次公布65nm光刻机,引发了对28nm甚至14nm光刻机研发进展的猜测,也让人思考华为芯片的来源问题。

当光刻机性能不足时,多重曝光是变相提升芯片制程的唯一办法 不同型号光刻机有着相对应的光刻精度,比如ASML的1980Di光刻机,适合制造28nm,但引入“多重曝光”技术后,1980Di型号光刻机也可以生产14nm,甚至7nm制程芯片 这意味着在美国制裁高端光刻机的背景下,通过低端光刻机+多重光刻技术可以提高芯片制程。 按照公布一代,测试一代,研发一代。 此次公布65nm光刻机,是否意味着28nm,甚至14nm的也在路上。 要不然华为的芯片从哪里来的呢? 根据华安电子研报,先进光刻机受限的背景下,

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