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全国首台国产商业电子束光刻机面世 精度0.6nm比肩国际主流
Cnbeta 2025-08-14T12:12:26.000000Z
杭州官媒：中国首台国产商业化电子束光刻机诞生
联合早报-中国即时新闻 2025-08-14T08:36:44.000000Z
国产光刻机弯道超车：电子束光刻
韭研公社 2025-08-14T06:44:46.000000Z
腾景科技：全国首台电子束光刻机核心元组件+光芯片供应商
韭研公社 2025-08-14T04:56:05.000000Z
精度 0.6 纳米，全国首台国产商业电子束光刻机在杭“出炉”
IT之家 2025-08-14T04:38:28.000000Z
全国首台国产商业电子束光刻机在杭“出炉”
财联社加红 2025-08-14T01:34:58.000000Z
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