近日，国产商业电子束光刻机“羲之”在杭州进入应用测试，标志着我国量子芯片研发领域取得重要突破。该设备由浙江大学自主研发，精度达到0.6纳米，线宽8纳米，可实现无需掩膜版的设计修改，特别适合芯片研发初期的反复调试。它的成功应用有望打破国际出口管制对国内科研机构的限制，并以低于国际均价的优势与多家企业和科研机构展开合作，为我国集成电路产业发展注入新动力。

🌟 “羲之”电子束光刻机是中国首台国产商业化设备，其核心技术自主可控，精度可达0.6纳米，线宽8纳米，能满足量子芯片及新型半导体研发的严苛要求，为我国在高端芯片制造领域提供了重要的自主装备支持。

🎨 该设备采用高能电子束作为“毛笔”，能够在芯片上实现纳米级的电路刻写，并且无需掩膜版即可灵活修改设计，这极大地提高了芯片研发初期的调试效率和灵活性，如同用纳米级“神笔”在芯片上精准作画。

🚀 “羲之”的成功研发和应用，对于打破我国在高端光刻设备领域面临的国际出口管制具有里程碑意义，将为中国科学技术大学、之江实验室等顶尖科研机构提供关键设备支持，推动我国量子信息科学和集成电路产业的快速发展。

💰 相较于国际主流设备，“羲之”的定价更具优势，已有多家企业和科研机构对其表现出浓厚兴趣并展开接洽，这预示着国产高端精密制造装备有望实现更广泛的市场应用，提升我国在全球半导体产业链中的竞争力。

IT之家 8 月 14 日消息，据杭州日报报道，近日，位于杭州城西科创大走廊的浙江大学成果转化基地传来重大喜讯：全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试，其精度与国际主流设备相当，标志着我国量子芯片研发领域迎来了具有自主知识产权的“中国刻刀”。

在测试现场，浙江大学余杭量子研究院的研发团队正紧张地进行着各项测试工作。这台外形类似大型钢柜的设备，其电子显示屏上实时显示着各项参数。“这不是普通的机器，而是一支能在头发丝上雕刻出整座城市地图的‘纳米神笔’！”团队负责人表示，“羲之”是依托省重点实验室自主研发的新一代 100kV 电子束光刻机，目前已正式投入市场。

IT之家从报道获悉，“羲之”以东晋书法家王羲之的名字命名，其“毛笔”则是高能电子束，能够在芯片上刻写电路。该设备专攻量子芯片和新型半导体研发的核心环节，精度达到 0.6 纳米，线宽 8 纳米，且无需掩膜版即可灵活修改设计。这种灵活性使其特别适合芯片研发初期的反复调试，如同用纳米级毛笔在芯片上精准作画。

此前，由于国际出口管制，国内顶尖科研机构如中国科学技术大学、之江实验室等长期无法采购此类设备。而“羲之”的成功落地，有望打破这一局面。据报道，“羲之”的定价低于国际均价，目前已与多家企业及科研机构展开接洽。