全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”在杭州成功问世，并进入应用测试阶段。该设备由浙大余杭量子研究院自主研发，精度达到0.6nm，线宽8nm，可比肩国际主流设备。它以高能电子束在硅基上“手写”电路，无需掩膜版即可灵活修改设计，特别适合量子芯片和新型半导体研发初期的反复调试，为中国在量子芯片研发领域提供了关键的“中国刻刀”。

✨ 电子束光刻机“羲之”的问世标志着中国在高端芯片制造设备领域取得重要突破。作为全国首台国产商业电子束光刻机，它的成功研发和应用测试，意味着中国在量子芯片等前沿科技领域拥有了自主可控的核心制造能力，摆脱了对进口设备的依赖。

🔬 “羲之”的核心技术在于其高能电子束“手写”电路的能力，拥有0.6nm的精度和8nm的线宽。这种纳米级的精度和无需掩膜版即可灵活修改设计的特点，使其在芯片研发的初期阶段，尤其是在需要反复调试和创新的量子芯片领域，展现出巨大的优势和潜力。

💡 设备名称“羲之”源自书法家王羲之，形象地比喻了其在芯片上绘制电路的精细与艺术性。研发团队负责人将其比作“纳米神笔”，能在头发丝上雕刻整座城市地图，生动地展现了该设备在微观世界的强大创造力，也体现了中国在精密制造领域的匠心追求。

🚀 “羲之”的研制和应用测试，是浙江大学余杭量子研究院孵化项目的成果，也依托于省重点实验室的支持。这不仅是研究院自主研发能力的体现，更是产学研深度融合的成功范例，为未来更多尖端科技设备的国产化奠定了坚实基础。

【全国首台国产商业电子束光刻机在杭“出炉”】财联社8月14日电，据杭州日报，近日，作为基地首批签约孵化项目之一，全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。在测试现场，浙大余杭量子研究院相关团队紧张忙碌着，一台模样酷似大型钢柜的机器正在做应用测试，电子显示屏上不断闪烁着实时参数。“这不是普通的机器，而是一支能在头发丝上雕刻出整座城市地图的‘纳米神笔’！”团队负责人告诉记者，依托省重点实验室，这台研究院自主研发的新一代100kV电子束光刻机“羲之”已正式投入市场。“羲之”取名自书法家王羲之，“只不过我们的‘毛笔’是电子束，在芯片上刻写电路。”研发团队相关负责人介绍，这台设备专攻量子芯片、新型半导体研发的核心环节，它通过高能电子束在硅基上“手写”电路，精度达到0.6nm，线宽8nm，可灵活修改设计无须掩膜版，如同用纳米级毛笔在芯片上精准作画，特别适合芯片研发初期的反复调试。