全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”近日在杭州完成应用测试，其精度达到0.6nm，线宽8nm，比肩国际主流设备。该设备由浙大余杭量子研究院自主研发，专攻量子芯片、新型半导体研发的核心环节。它通过高能电子束在硅基上“手写”电路，无需掩膜版即可灵活修改设计，尤其适合芯片研发初期的反复调试，标志着中国在量子芯片研发领域拥有了自主的“中国刻刀”。

⭐ 全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已在杭州成功研发并进入应用测试阶段。该设备由浙大余杭量子研究院自主研发，其核心技术精度达到0.6nm，线宽8nm，与国际主流设备相当，填补了中国在高端光刻设备领域的空白。

💡 “羲之”电子束光刻机被誉为“纳米神笔”，能够实现纳米级的精准雕刻，在头发丝上雕刻出整座城市地图。其工作原理是通过高能电子束在硅基材料上“手写”电路，无需传统的掩膜版，能够灵活修改设计，这对于芯片研发初期的快速迭代和反复调试具有重要意义。

🔬 该设备尤其适用于量子芯片和新型半导体器件的研发。其高精度和灵活的设计修改能力，为中国在量子芯片研发领域提供了关键的自主技术支撑，是中国在高端芯片制造技术上迈出的重要一步，具有重要的战略意义。

【全国首台国产商业电子束光刻机在杭“出炉”】财联社8月14日电，据杭州日报，近日，作为基地首批签约孵化项目之一，全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。在测试现场，浙大余杭量子研究院相关团队紧张忙碌着，一台模样酷似大型钢柜的机器正在做应用测试，电子显示屏上不断闪烁着实时参数。“这不是普通的机器，而是一支能在头发丝上雕刻出整座城市地图的‘纳米神笔’！”团队负责人告诉记者，依托省重点实验室，这台研究院自主研发的新一代100kV电子束光刻机“羲之”已正式投入市场。“羲之”取名自书法家王羲之，“只不过我们的‘毛笔’是电子束，在芯片上刻写电路。”研发团队相关负责人介绍，这台设备专攻量子芯片、新型半导体研发的核心环节，它通过高能电子束在硅基上“手写”电路，精度达到0.6nm，线宽8nm，可灵活修改设计无须掩膜版，如同用纳米级毛笔在芯片上精准作画，特别适合芯片研发初期的反复调试。