日本冲绳科学技术大学院大学开发的技术，能大幅降低极紫外光刻设备耗电量与制造成本，将反光镜数量从10个减至4个，使耗电量减至约十分之一，设备引入成本几乎减半，并将与企业合作实现国产化。

🧐日本冲绳科学技术大学院大学研发出一项新技术，旨在降低极紫外光刻设备的耗电量和制造成本。该技术通过减少设备光源到光刻的EUV路径上配置的反光镜数量，实现了能耗的大幅降低，从原来的10个反光镜减少到4个，以EUV光源为中心，整体耗电量可降至原来的约十分之一。

😮这项技术不仅降低了耗电量，还简化了设备结构。原本需要200亿日元左右的设备引入成本，因结构简化几乎可以减半，这为相关产业带来了巨大的经济效益和发展潜力。

🤝该大学将与企业合作，力争实现这种设备的日本国产化。这一合作将推动技术的实际应用和产业发展，提高日本在该领域的竞争力。

日本冲绳科学技术大学院大学开发出一项技术，可大幅降低极紫外光刻设备的耗电量和制造成本。这项技术将从设备的光源到光刻的EUV路径上配置的反光镜数量从原来的10个减少到4个。以EUV光源为中心，整体耗电量可减至原来的约十分之一。设备的结构也可大幅简化，因此当前估计需要200亿日元左右的设备引入成本几乎可以减半。据了解，该大学将与企业合作，力争实现这种设备的日本国产化。（界面）