全国首台国产商业电子束光刻机在杭“出炉” 近日，全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。 电子束光刻机概念——龙图光罩、冠石科技已经涨停 东方中科（002819）实锤电子束光刻机的关键部件 电子束偏转器是电子扫描显微镜、电子束光刻机的关键部件。 电子束偏转器 通过加压线圈产生的电磁场是高能电子束按所需的角度产生偏转，从而实现 电子束对目标部件的扫描。 对偏转器施加电压的高速准确且稳定控制，对于产品至关重要。 概念多： 脑