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张江高科:专业投资光刻机?
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上海芯上微装科技股份有限公司交付第500台步进光刻机,标志着我国高端半导体装备产业的重要进展,彰显其自主创新实力。

2025 年 8 月 8 日,上海芯上微装科技股份有限公司(AMIES)的第 500 台步进光刻机交付仪式隆重举办。交付现场,各界精英齐聚,相关政府部门、战略客户、股东代表、行业协会以及合作高校的领导们共同见证了这一重要时刻。 这不仅是芯上微装发展历程中的一座重要里程碑,更是我国高端半导体装备产业发展的关键节点,彰显出芯上微装在国产步进光刻机领域的卓越自主创新能力。 芯上微装 2025 年 2 月成立,传上海微分拆拟独立 IPO,核心团队含贺荣明、刘樱,主力产品覆盖集成电路、先进封装、化合物半导

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