ARFi浸没式

不用看到套刻精度就激动，这不是最新进度。目录里的是65nm精度ARF干式DUV光刻机，燕东微很早就公开表示在用了。真正的突破要等ARFi浸没式DUV光刻机(区别在于那个...

雪球网今日 2024-09-16T07:18:48.000000Z