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极紫外光刻技术获突破：可大幅提高能源效率，降低半导体制造成本
IT之家 2024-08-02T15:07:07.000000Z
极紫外光刻新技术问世，功耗不到传统EUV光刻十分之一（附股）
韭研公社 2024-08-02T05:36:07.000000Z