🧐英诺激光作为国内固体和超快激光器龙头企业，在EUV光源领域取得重要突破。其大能量、高重频超快激光产品是支撑EUV光源预脉冲的核心技术，为实现EUV光刻机激光光源国产化迈出重要一步。
😮德国通快是全球唯一的EUV光刻机激光源供应商，且是唯一可量产千瓦级产品的公司，这凸显了国内在该领域的差距，也表明英诺激光所面临的挑战与机遇。
👏英诺激光是行业内率先提出工艺示范线思路的公司之一，并率先提出采用紫外和深紫外固体激光器进行碳化硅退火制程，已实现批量供应相关激光器，展现了其在技术创新和市场应用方面的积极探索。
英诺激光最新调研实锤EUV光源 公司大能量、高重频超快激光产品是支撑EUV光源预脉冲的核心技术。 德国通快是是全球唯一的EUV光刻机激光源供应商，也是全球唯一一家可量产千瓦级产品的公司，国内的该激光器的产业化尚处于空白。 英诺激光作为国内固体和超快激光器龙头企业，突破了多项关键技术，助推EUV光刻机激光光源国产化。 英诺激光：已实现批量供应碳化硅退火制程的激光器 $英诺激光(sz301021)$ 接受机构调研时表示，公司是行业内率先提出工艺示范线思路的公司之一，是行业内率先提出采用紫外和深紫外固
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