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$凯盛科技(SH600552)$ 随记:关于凯盛高纯合成石英砂在掩膜基板的可能价值思考
1、来自观察者网文章:日经中文网——在半导体的上游生产工序中用于转印半导体电路的“光掩膜基板”(Mask Blanks)这一品类方面,3家日本企业垄断全球份额。豪雅(HOYA)的份额超过60%,远高于位居第2的信越化学(20.6%)。排名第3的AGC的份额为16.1%,比去年的10.3%提高了5.8个百分点,正在迅速追赶排在前两名的公司。日经中文网提到,由于中国大陆进行的是自主开发,因此除台湾地区外,中国大陆的数据没有纳入统计。
2、 转载来自韭研公社——韭死一生文章:光掩膜版价值量最大的上游材料:
光掩膜版基板长期依赖进口,原材料国外垄断。目前,光掩膜版上游原材料厂商主要集中在日本和韩国,国内有数家企业有能力生产,但主要集中在中小 尺寸,产品应用行业也多在 TP、PCB 等低端行业,对于半导体用高精度及高世代面板用基材,基本被日韩垄断。
在光掩模制造成本中,直接材料占比达67%,而基板占直接材料的比重高达90%,因此基板占光掩模总制造成本的比例可达60.3%。遮光膜可分为乳胶遮光膜和硬质遮光膜(包括铬、硅、氧化铁),其中铬精度最高,耐用性更好,广泛应用于平板显示、IC(集成电路)、印刷线路板和精细电子元器件。
上游原材料使用的基板主要为合成石英。被用来制作光掩膜版的玻璃包括合成石英、硼硅玻璃和苏打玻璃,其中合成石英最为化学稳定,具有高硬度、低膨胀系数和透光性强等优势,适用于较高精度要求的产品生产,广泛应用于 LSI 用光掩膜、FPD 用大型掩膜的制造。但是石英成本高,现在倾向于发展高质量的合成石英材料,它能够提供宽的光投射 区域、低的杂质含量和少的物理缺陷,并且随着低膨胀率和深 UV 的要求变得逐渐广泛。
合成石英的制造难度大。目前最主要用于亚微米光刻的投影光掩膜版衬底材料是合成 石英,合成石英是用 SiCI4 作为原料,采用气相沉积(CVD)生产合成,其原理是将易挥 发的液体 SiCI4 在载料气体的带动下,进入氢气/氧气燃烧气中与水蒸气反应生成不定型二 氧化硅,并沉积在高温旋转的靶材上,最终熔化形成高纯石英玻璃。合成石英具有宽的光 投射铝区域,低的杂质含量和少的物理缺陷的特性。
中国建材总院利用多晶硅生产中的废弃物SiCl4为原料、以氯碱化工的副产品H2为能源、采用立式化学气相沉积(CVD:Chemical Vapor Deposition)工艺合成石英玻璃。此方法制备石英砣的纯度更高,可以满足光掩膜版对于石英玻璃基板纯度的要求,中国建材总院拥有此项技术的知识产权。
凯盛科技合成石英一期项目预计年底投产,首期规划5000~8000吨产能。目前中试线产品已给光伏、半导体送样,具体公司包括隆、中环、晶科、中芯,目前送样测试产品已经解决了前斯出现的统度、硬度、耐时高温性等间题,可以满足下游客户需求。
3、来自凯盛科技(600552)2023年09月28日在投资者关系平台上答复了投资者关心的问题。凯盛科技答——高纯石英砂通过气炼(氢氧气)熔制或等离熔制结合其它热加工(变形/脱羟)可做成掩膜基板。合成石英砂技术难度高,目前半导体等应用还以进口为主,需要国内相关企业共同技术进步。
投资者:董秘您好,请问目前公司的半导体级别合成石英砂对标的国产替代产品销售价格在多少范围到多少范围之间?
凯盛科技董秘:尊敬的投资人,您好,公司合成石英砂项目建成后,用于半导体级别的产品主要对标国外,根据应用领域不同,目前市场价格在30万元/吨以上,感谢您的关注。
投资者:董秘您好,请问现在合成石英砂中试线的产品和哪些下游客户合作和推进产品测试了?下游客户产品质量评价如何?
凯盛科技董秘:尊敬的投资人,您好,公司合成石英砂项目正在建设,样品主要用于坩埚、石英管、半导体封装材料、抛光材料等,与相关企业开展了测试等,我们的石英砂不直接用于半导体硅片企业,感谢您的关注。
投资者:请教凯盛科技600552董秘1、产品可用性。贵公司高纯合成石英砂在光伏坩埚内层使用在客户侧的进展,相比天然石英砂在硬度、熔点问题上有哪些实质性的进展,还存在什么实质性的问题?2、竞争力前瞻。技术问题解决的前提下,市场价格上如果要和美国、荷兰公司去竞争,和国内石英砂上市公司比较,竞争前景如何?3、会很快红海么?国内技术只要一家突破,马上就会出现很多同质的竞争对手,贵公司怎么看?
凯盛科技董秘:尊敬的投资人,您好,公司开发的合成石英砂产品纯度可达6N-7N,目前合成石英砂生产线项目正在建设,相关中试样品在进行测试,进度符合预期,正在为量产准备样品批量验证;目前高纯石英砂市场紧缺,市场前景好,公司合成石英砂主要以半导体、电子级为主要市场,提纯石英砂以光伏为主要市场,两种技术具有较好的互补作用;合成石英砂技术难度高,目前半导体等应用还以进口为主,需要国内相关企业共同技术进步。
投资者:尊敬的董秘,您好,请问公司的产品合成石英砂是否应用于光刻机制造领域掩膜板产业链的上游材料掩膜石英基板制作,谢谢回答!
凯盛科技董秘:尊敬的投资人,您好,高纯石英砂通过气炼(氢氧气)熔制或等离熔制结合其它热加工(变形/脱羟)可做成掩膜基板。公司合成石英砂项目正在建设,产品主要是电子、半导体等用的高纯石英砂、硅溶胶、纳米球硅等,感谢您的关注。
投资者:请问目前的高纯石英砂有多少吨可以做石英坩埚内层?多少吨可以做石英坩埚中层?
凯盛科技董秘:尊敬的投资人,您好,公司目前大规模生产的高纯石英砂主要用于石英坩埚外层材料,提纯法中试线产品可用于中内层,已经有小量供货。感谢您的关注。