🥇张江高科持股上海微电子10.779%的股份，上海电气的母公司是上海微电子第一大股东，东方明珠通过间接持股上海微电子，奥普光电的实际控制人长春光机所生产光刻机，这些构成了整机方面的内容。

🌟波长光电的光刻机平行光源系统，茂莱光学的精密光学器件已应用于国产光刻机，福晶科技是全球最大LBO、BBO非线性光学晶体生产商，这是光源方面的情况。

🎉腾景科技的多波段合分束器已进入微电子供应链，苏大维格向上海微电子提供光刻机用的定位，此为光学器件方面的信息。

（一）整机 （1）张江高科：持股上海微电子10.779%的股份； （2）上海电气：母公司为上海微电子第一大股东； （3）东方明珠：通过间接持股上海微电子； （4）奥普光电：长春光机所为公司实际控制人，长春光机所生产光刻机。 （二）光源 （1）波长光电：光刻机平行光源系统； （2）茂莱光学：精密光学器件已应用于国产光刻机； （3）福晶科技：全球最大LBO、BBO非线性光学晶体生产商。 （三）光学器件 （1）腾景科技：多波段合分束器已进入微电子供应链； （2）苏大维格：向上海微电子提供光刻机用的定位