界面快报 2024年09月09日
台积电首台ASML High NA EUV本月将进机?双方回应
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业界传台积电首台ASML HighNA EUV光刻系统设备本月将进机,该设备昂贵且规格特殊精密,运输需特殊安排,ASML不评论,台积电不回应。

🥇台积电首台ASML HighNA EUV光刻系统设备据传本月进机,此设备价值逾4亿欧元,价格高昂。

🚚该设备因光镜头镜片无法分拆入厂,高度比会议室还高,长度远超上一代设备,规格特殊且精密,运输难度大。

🛣️为避免交通不顺,此设备恐须通过机场或港口联通的高速公路交管,或在特定深夜运送入厂。

业界传出,台积电首台ASML High NA EUV光刻系统设备传本月将进机,由于该款逾4亿欧元设备且因光镜头镜片无法分拆入厂,高度比一间会议室还高且长度也远超前一代设备,因规格特殊且精密,恐须机场或港口联通的高速公路交管或特定深夜运送入厂避免交通不顺。对于业界传闻,ASML今日提到不评论单一客户。台积电则表示不回应市场传闻。(台湾经济日报)

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