三星正在测试TEL的AcreviaGCB气体团簇光束系统，该系统可精确整形EUV光刻图案等，有望提高产品良率，且三星此前已测试其他相关设备，以加强设备供应商间竞争。

🧐三星测试的TEL的AcreviaGCB气体团簇光束系统，能够精确整形EUV光刻图案，这有助于修复缺陷并降低粗糙度，从而提升光刻工艺的精度和质量。

💪该系统有望减少成本高昂的多重曝光，这对于降低生产成本、提高生产效率具有重要意义。通过减少多重曝光的需求，三星可以在一定程度上节省资源并提高产品的市场竞争力。

🎯TEL表示潜在客户正在进行系统测试，预计该系统首先用于逻辑代工。这意味着该系统在半导体制造领域的应用具有针对性，有望为逻辑代工产业带来新的发展机遇。

🤝三星此前已在4nm工艺上测试了应用材料的CenturaSculpta系统，如今测试TEL设备，加强了两大半导体设备供应商间的图案塑形订单竞争，推动了行业的发展。

三星正在测试TEL的Acrevia GCB气体团簇光束系统，该系统能精确整形EUV光刻图案，修复缺陷，降低粗糙度，有望减少成本高昂的多重曝光，提高产品良率。TEL表示潜在客户正在进行系统测试，预计首先用于逻辑代工。此前，三星已在4nm工艺上测试了应用材料的Centura Sculpta系统，如今测试TEL设备，以加强两大半导体设备供应商间的图案塑形订单竞争。

媒体报道

消息称三星电子测试 TEL 公司 Acrevia GCB 设备以改进 EUV 光刻工艺	IT 之家
消息称三星电子测试TEL公司Acrevia GCB设备以改进EUV光刻工艺	C114 通信网/凤凰科技

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