三星正在对TokyoElectron(TEL)今年7月发布的Acrevia GCB气体团簇光束系统进行测试，该系统可对EUV光刻图案局部精确整形，修复缺陷、降低粗糙度。

🧐TEL的Acrevia GCB系统于今年7月推出，这是一款具有创新性的技术系统。它能够通过气体团簇光束，针对EUV光刻图案实施局部的精准整形操作，为光刻技术带来了新的可能性。

💡该系统的主要作用是对EUV光刻图案进行局部精确整形。通过这种方式，它可以有效地修复图案的缺陷，使得光刻图案更加完美，提高产品的质量和性能。

✨Acrevia GCB系统还能够降低图案的粗糙度。这一功能有助于提升光刻图案的精度和清晰度，进一步优化产品的性能，为半导体制造等领域带来积极的影响。

格隆汇9月3日｜据TheElec，三星正对Tokyo Electron (TEL) 的Acrevia GCB气体团簇光束系统进行测试。TEL的Acrevia GCB系统发布于今年7月，可通过气体团簇光束对EUV光刻图案进行局部精确整形，从而修复图案缺陷、降低图案粗糙度。