三星计划削减对High-NA EUV光刻机的采购,并与ASML共同创建的研究中心项目遇到困难。原本三星计划在未来10年内采购多款High-NA光刻机,但现在仅计划采购EXE:5200。这一决定是在公司高层人事变动和项目审查后做出的。同时,相关研究中心的建设进程也因设备引进减少而停止。研究中心的未来位置和是否继续建设将在进一步讨论中决定。
媒体报道
三星传将减少ASML新一代极紫外光(EUV)光刻机的采购规模 | 36Kr |
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三星冲击高端代工新挑战:削减 High-NA EUV 光刻机采购、被曝中止和 ASML 合建研究中心 | IT 之家 |
三星冲击高端代工新挑战:削减 High-NA EUV 光刻机采购规模 | 搜狐科技 |
三星冲击高端代工新挑战:削减High-NA EUV光刻机采购、被曝中止和ASML合建研究中心 | 凤凰科技 |
事件追踪
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2023-01-16 08:05:21 | 三星电子开发出透光率达 88% 的 EUV 薄膜 |
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2020-03-25 16:30:31 | 三星率先为DRAM芯片导入EUV,用于明年量产DDR5/LPDDR5 |