SK 海力士计划于2026年首次导入ASML的High NA EUV光刻机,并成立研发团队将该技术应用于DRAM内存生产,而英特尔、台积电、三星电子在该领域也有相应进展。
🧐SK 海力士计划在 2026 年首次引入 ASML 的 High NA EUV 光刻机,为此新成立了研发团队,努力将该光刻技术运用到最先进 DRAM 内存的制造中,以提升产品性能和竞争力。
💻英特尔已率先获得全球第一台商用 High NA EUV 光刻机,其第二台也在运往俄勒冈州研发晶圆厂的途中,这显示出英特尔在该技术领域的领先地位。
📈台积电用于研发目的的首台 High NA EUV 光刻机有望在 2024 年内交付,这将有助于台积电在先进制程方面保持竞争力,推动半导体技术的发展。
🌟三星电子的首台用于研发的 High NA EUV 光刻机预计在 2024 年四季度至 2025 年一季度交付,这将为三星电子在半导体领域的发展提供新的动力。
IT之家 8 月 19 日消息,据韩媒 ZDNet Korea 报道,SK 海力士 EUV 材料技术人员当地时间本月 12 日出席技术会议时向媒体表示,该企业计划于 2026 年首次导入 ASML 的 High NA EUV 光刻机。
SK 海力士的一位工程师表示该公司新近成立了一个 High NA EUV 研发团队,正致力于将 High NA EUV 光刻技术应用到最先进 DRAM 内存的生产上。

▲ ASML EXE:5000 High NA EUV 光刻机综合IT之家已有报道,在几大先进逻辑制程与存储半导体企业中,英特尔率先拿下了全球第一台商用 High NA EUV 光刻机,其第二台 High NA 机台也已在运至俄勒冈州研发晶圆厂的途中。
而台积电和三星电子两家企业用于研发目的的首台 High NA EUV 光刻机也分别有望于 2024 年内、2024 年四季度至 2025 年一季度交付。