国产首台28纳米关键尺寸电子束量测量产设备出机！机构称电子束检测设备是先进制程芯片良率的关键保障，未来有望加速发展，这家公司首台半导体电子束检测设备已正式交付国内客户，另一家已开始组织开发电子束检测设备。
国产首台28纳米关键尺寸电子束量测量产设备出机！机构称电子束检测设备是先进制程芯片良率的关键保障，未来有望加速发展，这家公司首台半导体电子束检测设备已正式交付国内客户，另一家已开始组织开发电子束检测设备。
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