近日，浙江大学成果转化基地传来喜讯，国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试阶段。这台由浙江大学余杭量子研究院自主研发的100kV电子束光刻机，精度达到0.6nm，线宽8nm，能够实现纳米级电路“手写”，尤其适用于量子芯片和新型半导体研发的初期调试。此前，类似设备受到国际出口管制，国内顶尖科研机构难以采购。“羲之”的成功落地不仅标志着量子芯片研发有了“中国刻刀”，更有望打破国际技术垄断，其定价低于国际均价，并已与多家企业和科研机构展开合作。该成果的背后是科技创新与产业创新“两新融合”的强大驱动，体现了产学研合作在推动硬科技突破和成果转化中的重要作用。

🌟 关键突破：国产首台商业电子束光刻机“羲之”成功研发并进入应用测试，其精度高达0.6nm，线宽8nm，填补了国内在高端光刻设备领域的空白，为量子芯片等前沿科技的研发提供了核心“中国刻刀”。

💡 技术优势：“羲之”采用电子束“手写”电路技术，能够灵活修改设计且无需掩膜版，极大地提高了芯片研发初期的调试效率和灵活性，如同在芯片上进行纳米级的精准绘画。

🚀 市场影响：该设备的成功研发有望打破国际对高端光刻设备的出口管制和技术垄断，降低国内科研机构的采购成本，推动我国在半导体和量子计算领域的自主创新和产业发展。

🤝 融合驱动：“羲之”的成功是科技创新与产业创新“两新融合”模式的生动体现，通过校企合作、需求导向的研发机制，加速了科技成果从实验室走向市场的转化过程，为硬科技突破提供了有力支撑。

量子芯片研发有了“中国刻刀”

近日，位于杭州城西科创大走廊的浙江大学成果转化基地传出喜讯：作为基地首批签约孵化项目之一，全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。

在测试现场，浙大余杭量子研究院相关团队紧张忙碌着，一台模样酷似大型钢柜的机器正在做应用测试，电子显示屏上不断闪烁着实时参数。“这不是普通的机器，而是一支能在头发丝上雕刻出整座城市地图的‘纳米神笔’！”团队负责人告诉记者，依托省重点实验室，这台研究院自主研发的新一代100kV电子束光刻机“羲之”已正式投入市场。

“羲之”取名自书法家王羲之，“只不过我们的‘毛笔’是电子束，在芯片上刻写电路。”研发团队相关负责人介绍，这台设备专攻量子芯片、新型半导体研发的核心环节，它通过高能电子束在硅基上“手写”电路，精度达到0.6nm，线宽8nm，可灵活修改设计无须掩膜版，如同用纳米级毛笔在芯片上精准作画，特别适合芯片研发初期的反复调试。

此前，此类设备受国际出口管制，中国科学技术大学、之江实验室等国内顶尖科研机构长期无法采购，“羲之”的落地有望打破这一困局。记者了解到，其定价低于国际均价，目前已与多家企业及科研机构展开接洽。

“羲之”的成功并非孤例，其背后是科技创新与产业创新“两新融合”的强力驱动。今年7月，省级教育科技人才一体改革专项试点项目落地位于余杭区的浙江大学校友企业总部经济园，浙江大学与该园联手搭建了成果转化高速路：园区企业开出“技术需求清单”；浙大教授带研究生组队“揭榜”；从实验室样品到量产产品，全流程陪跑。

在城西科创大走廊，这样的融合正成为常态。院士工作站落地城投未来之星办公楼，无缝对接企业需求；城西科创大走廊连年推出优秀概念验证项目征集，打通成果转化的“最前一公里”。接下去，城西科创大走廊将持续推动“两新融合”，为硬科技突破加速赋能，推动科技成果高效转化为现实生产力。