河南东微电子材料有限公司自主研发的光刻机用直线电机、光源、光纤、磁座等关键零部件,已正式通过中芯国际和长鑫存储的严格认证。此举标志着中国在半导体产业链国产化方面取得了重要进展,尤其是在被列为关键“卡脖子”项目之一的光刻机用直线电机领域,东微电子通过多年技术攻关,成功突破了国外技术垄断。直线电机作为光刻机运动平台的核心,其高精度和稳定性对芯片制造至关重要,尤其是在纳米级制程下,直线电机已成为不可或缺的部件。东微电子致力于成为国内半导体材料和设备零部件的一站式服务平台,为解决行业痛点贡献力量。
🌟 东微电子在光刻机关键零部件领域取得重大突破,其自主研发的直线电机、光源、光纤、磁座等核心部件,已成功通过了中芯国际和长鑫存储两大半导体巨头的严格认证,标志着中国在高端半导体设备国产化道路上迈出了坚实一步。
💡 光刻机用直线电机被列为国家关键“卡脖子”项目,其制造和生产技术对打破国外技术垄断具有战略意义。东微电子通过组建技术攻坚团队,历经多年研究,针对光刻机关键零部件的特殊性能指标、极端使用环境和精密制备工艺进行了全面攻关,成功解决了国内在该领域的痛点。
🚀 直线电机是光刻机运动平台的核心,其性能直接决定了芯片制造的定位精度和运动稳定性。在芯片制程迈入纳米时代,直线电机凭借其直接驱动、无机械损耗、响应快、精度高等优势,已成为不可替代的关键组件,而东微电子的成功认证将有效缓解国内市场对进口直线电机的依赖。
🌐 东微电子致力于成为高端集成电路制造用材料和设备零部件的一站式服务平台,公司已在上海、北京、无锡、厦门等地设有研发生产基地,并落户河南省郑州市航空港实验区。这一战略布局旨在为中国半导体产业提供全面的解决方案,助力解决“卡脖子”难题,推动产业自主创新发展。
快科技8月7日消息,日前,河南东微电子材料有限公司(以下简称"东微电子")宣布,其自主研发的光刻机用直线电机、光源、光纤、磁座等关键零部件,正式通过中芯国际和长鑫存储严格认证。
东微电子表示,这不仅是一次技术突破,更是中国半导体产业链国产化进程中迈出的坚实一步。
据了解,2021年12月,国家五部门联合发布的《重大技术装备和产品进口关键零部件、原材料商品目录(2021年版)》明确将光刻机用直线电机列为关键“卡脖子”项目,直线电机的制造和生产技术对我国打破国外光刻机技术垄断具有重要意义。

面对技术封锁,东微电子组建技术攻坚团队,历经多年研究,对光刻机用关键零部件的特殊性能指标、极端使用环境和精密制备工艺发起全面攻关,对标国际顶尖,解决国产痛点。

据介绍,直线电机是光刻机运动平台的核心零部件。
光刻机需将电路图案以纳米级精度“雕刻”在硅片上,直线电机直接驱动工作台和掩模台进行高速、超精密直线运动,其性能决定了定位精度和运动稳定性。
随着芯片制程进入纳米时代,传统旋转电机+传动机构的方式已难以满足,直线电机凭借直接驱动、无机械损耗、响应快、精度高等优势成为唯一选择。
高端光刻机用直线电机技术门槛极高,国内市场严重依赖进口。
东微电子官网显示,公司于2018年落户河南省郑州市航空港实验区,并在上海、北京、无锡、厦门等地设有研发生产基地。
公司致力于成为高端集成电路制造用材料和设备零部件一站式服务平台,为中国半导体解决“卡脖子”难题。
