全文摘要 1、高多层板生产流程与关键设备 ·高多层板核心流程分解：高多层板生产流程从开料后进入线路制作环节。以60层板为例，内层线路包含29张内层，需进行29次LDI曝光（若不考虑良率及利用率，1平方米成品需29倍LDI曝光量）；外层线路同样需使用LDI曝光。线路制作完成后进行蚀刻，涉及前处理水平线与真空二流体蚀刻线。随后进入水平中划线环节，使用水平中划线设备。压合环节采用PN类型压机，完成60层板的压合。压合后进行直接钻孔，部分产品需背钻工艺。钻孔后进入电镀环节，根据产品需求使用垂直电镀线、三