飙叔科技洞察 4小时前
来自清华!国产EUV光刻胶重大突破,打破日本垄断,或将引领下一代高端光刻胶!
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清华团队通过碲元素高吸收+主链断裂显影的创新设计,实现了EUV光刻胶在灵敏度、分辨率和缺陷控制的跨越式突破。

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