1、创元科技（000551.SZ） 流通市值：42亿 概念详情：全资子公司江苏苏净为上海微电子提供精密净化设备及技术服务，合作覆盖光刻机生产环境控制领域。 2、波长光电（301421.SZ） 流通市值：45亿 概念详情：具备光刻机配套大孔径光学镜头研发能力，产品适配半导体前道光刻设备的光学系统。 3、金力泰（300225.SZ） 流通市值：52亿 概念详情：控股子公司上海金杜新材料是上海微电子合格供应商，提供光刻设备专用防护涂层材料。 4、同飞股份（300985.SZ） 流通市值：63亿 概念详