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阿斯麦:首台EXE:5200B High NA光刻机已发运
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阿斯麦发布消息称,首台EXE:5200B High NA光刻机已发运,光刻机投资在晶圆厂总体投资中占比持续上升,EUV光刻机应用按计划推进。

【阿斯麦:首台EXE:5200B High NA光刻机已发运】《科创板日报》16日讯,阿斯麦(ASML)总裁兼首席执行官傅恪礼表示,“我们看到光刻机投资在晶圆厂总体投资中所占的比重持续保持强劲,尤其是在DRAM(动态随机存取存储器)领域,而TWINSCAN NXE:3800E的推出也进一步巩固了这一趋势。与此同时,EUV光刻机的应用正在按计划推进,其中包括高数值孔径(High NA)系统。本季度,我们发运了首台TWINSCAN EXE:5200B系统。”

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