光刻机是制造半导体芯片的核心设备，通过光刻机技术将电路图案以纳米级精度印刷到硅片上，主要由光学、机械和控制系统构成，分为紫外、深紫外和极紫外等类型，应用于集成电路、LED制造等领域。 光刻机这两天迎来了大爆发，多只相关概念股强势涨停。今天复盘发现有3只国产光刻机被中央汇金和北向资金重仓持有。 一、张江高科。从公司一度的前十大流通股东可以看出，中央汇金持股4012.06万股，占流通股比例2.59%，位列公司第二大股东。香港中央结算（北向资金）一季度减仓280.38万股，目前仍持股2987.51万股