中国科学院上海微系统与信息技术研究所成功研制出集成角度传感器的高性能MEMS快反镜，该快反镜体积小巧，性能优良，有望提升卫星激光通信质量。 历经五年研制，采用双层异构集成与晶圆级键合工艺，体积仅一枚一元硬币大小。该快反镜攻克了传统机械快反镜和原有MEMS快反镜的技术瓶颈，指向精度达到μrad量级，满足星载应用的超高性能指标。通过结构创新，灵敏度提升63%，在特定频率下，角度精度达标，最大动态表面形变仅2纳米，为远距离卫星激光通信提供了技术支持。

🛰️ 快反镜是卫星激光通信中的关键部件，其光束控制精度直接影响通信质量。中国科学院上海微系统与信息技术研究所研制出高性能MEMS快反镜，旨在提升卫星激光通信的性能。

🔬 该快反镜采用双层异构集成与晶圆级键合工艺，体积仅一枚一元硬币大小。这种设计使得快反镜在满足高性能指标的同时，也具备了小巧的体积，更易于星载应用。

⚙️ 该快反镜攻克了传统机械快反镜和原有MEMS快反镜的技术瓶颈，指向精度达到μrad量级，满足星载应用的超高性能指标。这意味着快反镜能够非常精确地控制光束的方向，从而提高通信质量。

💡 该快反镜集成了片上角度传感器，利用硅压阻应变原理，通过结构创新使灵敏度提升63%。这使得快反镜能够更精确地感知和调整光束的方向，优化光束控制精确性。

📏 测试结果表明，在特定频率下，角度精度达标，最大动态表面形变仅2纳米。这种超高的精度保证了快反镜在远距离卫星激光通信中的可靠性和稳定性，满足了对镜面面型的严苛要求。

快科技6月30日消息，在卫星激光通信中，光束控制精度关乎通信质量，快速反射镜犹如“精密心脏”。

近日，中国科学院上海微系统与信息技术研究所研制出集成角度传感器的高性能MEMS快反镜，镜面尺寸大、封装体积小，性能优良，在激光卫星通信方面潜力巨大。

该快反镜历经近五年才研制成功，采用双层异构集成与晶圆级键合工艺，体积仅一枚1元硬币大小。

封装后的MEMS快反镜

它攻克传统机械快反镜和原有MEMS快反镜的技术瓶颈，打造出航天级产品，指向精度达μrad量级，满足星载应用的超高性能指标。

受手机屏幕启发，团队利用硅压阻应变原理集成片上角度传感器，通过结构创新使灵敏度提升63%，优化光束控制精确性。

测试结果表明，在特定频率下，角度精度达标，最大动态表面形变仅2纳米。

官方打了一个比方，这就相当于在足球场大小的镜面上，所有起伏不超过一根头发丝的直径，满足远距离卫星激光通信对镜面面型的严苛要求。