Cnbeta 01月31日
日本Rapidus工厂扩建计划包括安装十台EUV光刻机
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日本Rapidus公司计划在其两个尖端半导体生产基地安装十台极紫外(EUV)曝光工具,此举旨在加强日本在半导体产业的竞争力,并追赶台积电等领先企业。首个2纳米级工艺节点将于2027年在IIM-1工厂投入使用,该工厂已于去年12月接收首台ASML NXE:3800E EUV光刻机。Rapidus将在IIM-1和IIM-2工厂部署这批新购入的EUV设备。预计2025年4月左右开始试运行,并计划今年年中向美国博通公司交付首批样品。

🏭 日本Rapidus将在两处半导体基地部署十台EUV光刻机,加速2纳米制程发展。

⚙️ 首台ASML NXE:3800E光刻机已于去年12月抵达日本,标志着日本首次采用该技术。

📅 Rapidus计划2025年4月左右开始试运行,并于今年年中向美国博通公司提供首批样品。

日本Nikkan Kogyo Shimbun(日刊工业新闻)报道说,Rapidus 将在两个尖端半导体生产基地安装总共十台 "极紫外(EUV)曝光工具"。这意味着日本政府推动半导体产业的力度再度加强,目标是让 Rapidus 赶超台积电等公司。

其 2 nm 级工艺节点将于 2027 年在目前正在建设中的 "创新集成制造一号"(IIM-1)工厂投入运行。 去年 12 月日本迎来了第一台 ASML NXE:3800E EUV 光刻机,这标志着该技术在日本的首次部署。 

《日刊工业新闻》的报道援引了 Rapidus 首席执行官小池淳义的讲话,根据这位老板的说法,10 台新机器将分布在两个制造工厂:上述的 IIM-1 和 IIM-2。 第二个工厂预计将在 IIM-1 建成后不久投入使用。 

目前尚不清楚代工厂是否会安装更多的 ASML NXE:3800E 光刻机,也没有透露确切的时间框架。 《日经新闻》的一篇较早的文章指出,将于 4 月(2025 年)左右在 Rapidus 的晶圆厂开始试运行,采用 2 纳米一代全栅极 (GAA) 技术。 根据推测的时间表,首批样品将于今年年中运往美国博通公司(Broadcom)。

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