日本王子控股正转型为木材材料综合企业，致力于开发木基生物质正性光刻胶，目标2028年商业化。该技术从木材中提取前体材料，混合聚合后制成光刻胶，可满足2nm制程需求。与传统光刻胶相比，木基光刻胶无需添加有害的PFAS，且在EUV光下降解速率快8倍，更环保并提升图案化质量。此外，木基材料替代石油基塑料，有助于减少温室气体排放。王子控股计划到本世纪30年代实现该产品年销售额100亿日元。

🌳王子控股正向木材材料综合企业转型，并开发木基生物质正性光刻胶，计划2028年实现商业化，以满足先进芯片制造需求。

🔬该木基光刻胶技术路线是从木材中提取前体材料，与特定溶剂混合聚合后得到成品，无需添加有害的PFAS，在EUV光下的降解速率比传统产品高出8倍，更环保的同时提升先进制程图案化质量。

🌱木基光刻胶使用木材替代石油基塑料作为原料，减少了温室气体的排放，体现了可持续发展的理念，同时满足了2nm先进制程需求。王子控股的商业目标是到本世纪30年代实现该产品年销售额100亿日元。

IT之家 1 月 24 日消息，日本两大纸业巨头之一的王子控股（Oji Holdings）正在向一家木制材料综合企业转型，其最新目标是开发一种采用木基生物质材料的正性光刻胶，目标到 2028 年实现商业化。

王子控股在光刻胶生产上的技术路线是从木材中提取可用于光刻胶的前体材料，然后将前体材料和特定溶剂混合聚合（并采用净化技术去除杂质），这样就得到了光刻胶成品。王子控股宣称其木基光刻胶可满足 2nm 先进制程需求。

传统的正性光刻胶通常需要添加有害的“永久化学品”PFAS 来提高光敏度，而王子控股的木基光刻胶在 EUV 极紫外光下的降解速率比传统产品高出 8 倍，这消除了 PFAS 的使用需求，更为环保的同时也可提升先进制程图案化的质量。

此外传统光刻胶多为石油基塑料，木基光刻胶在原料上也可减少温室气体的排放。

王子控股表示，其在木基光刻胶上的商业目标是到本世纪 30 年代每年实现 100 亿日元（IT之家备注：当前约 4.67 亿元人民币）的销售额。