晶圆代工龙头厂台积电位于南科的晶圆厂，受地震影响的机台设备移位、晶圆破损经过抢修后，供应链传出，3、 5纳米的先进制程晶圆十八厂，预计将于23日达100%复机，准备恢复正常生产，晶圆十四厂复机还没有明确时间表。
元月21日凌晨台湾发生芮氏规模6.4地震，台积电位于南科的晶圆厂区测得最大震度为5级，影响最大，为了确保人员安全，厂区依公司内部程序启动相关安全预防措施，第一时间进行人员疏散，并于凌晨1时许全数完成清点，确定人员皆安全无虞，各厂区也完成建筑震后损害检查，确认结构安全无虞。
台积电确认人员与厂房安全无虞，震后立即召集生产线人员、设备等供应商，抢修机台设备移位、晶圆破损等后续善后工作。供应链指出，3、5纳米的先进制程晶圆十八厂，为新建晶圆厂，防震系数高，估计设备移位等影响数约达3-4成，“机台影响不输去年0403地震”，盘点十八A、十八B厂破损晶圆约超过2.5万片至3万片之间。
台积电12吋晶圆十四厂建筑物屋龄较久，生产成熟制程，震损也不轻，供应链传出，估计有一半机台设备受影响，十四A与十四B厂破损的报废晶圆共超过3万片。晶圆十八厂与晶圆十四厂整体损失恐直追0403地震达30亿元以上。
供应链传出，台积电预计晶圆十八厂预计将于23日达100%复机，准备恢复正常生产。晶圆十四厂还在全力抢救中，目前还没有复机时间表。
台积电此前声明，安全无虞
嘉义大埔21日凌晨发生规模6.4地震，且余震不断。经济部盘点嘉义、台南产业园区内无灾损情形、将启动水库特别检查；台积电也发布最新声明指出，部分中部及南部厂区第一时间进行疏散，厂区人员、建筑结构皆安全无虞。
台积电指出，公司位于南部科学园区的晶圆厂区测得最大震度为5级、中部科学园区厂区最大震度为4级、新竹科学园区晶圆厂区（含龙潭及竹南）最大震度为3级，已启动相关安全预防措施。
台积电表示，部分中部及南部厂区在第一时间进行人员疏散，凌晨1时许全数完成清点、人员皆安全无虞，各厂区也完成建筑震后损害检查，确认结构安全无虞逐步回线；目前各厂区供水、电力、工安系统及营运正常，各项细部检查与详细影响评估作业持续进行中。
随后，台积电发布声明表示，各厂区已完成建筑震后损害检查，确认结构安全无虞逐步回线。同时，公司建厂工地未受影响，于震后环境安全检查后今日照常施工，强调各厂区供水、电力、工安系统及营运正常。
台积电声明还称，该公司位于南部科学园区的晶圆厂区测得最大震度为 5 级、中部科学园区厂区最大震度为 4 级、新竹科学园区晶圆厂区（含龙潭及竹南）最大震度为 3 级。
为确保人员安全，地震发生后各厂区按照公司内部程序启动相关安全预防措施，部分中部及南部厂区在第一时间进行人员疏散，并于凌晨 1 时许完成清点确定人员皆安全无虞，各厂区也已经完成建筑震后损害检查，确认结构安全无虞逐步回线。
