来源：雪球App，作者： 疯狂梭哈哥，（https://xueqiu.com/9500148954/312120734）
1：去年的“光刻厂”并非空穴来风，而是科研人员真真切切在推进的项目。在最近的IWAP（国际先进光刻技术研讨会）上，包括合肥光源在内的科研机构已经把同步辐射光源从EUV光刻领域推进到了掩模版缺陷检测。
2：合肥光源是国际最先进、亚洲唯一低能量区第四代同步辐射光源，被称为“前沿科研的眼睛”。根据最新消息，其最主体的隧道加速结构已经在上周封顶，光刻机、“光刻厂”两条腿走路的预期愈发强烈。
3：国机通用具备光刻机研发所必须的核心部件高精度环境控制和流体力学；且中标“光刻厂”合肥光源水冷系统，完美对标海立股份，后者参与上海微电子光刻机冷却系统，股价上涨近4倍！
一、“光刻厂”并非空穴来风，而是科研人员真真切切在推进的项目
去年闹得沸沸扬扬的“光刻厂”，在今年IWAPS（国际先进光刻技术研讨会）上迎来最新进展。原文地址
1：来自USTC的XiaosongLiu作了题为《合肥光源——用于极紫外光刻研究的低能同步辐射装置》的报告。
2：来自上海高等研究院的YongWang作了题为《上海光源极紫外光刻掩模版检验光束线》的报告。
二、下面主要讲讲合肥光源
合肥光源是国际最先进、亚洲唯一低能量区第四代同步辐射光源，被称为“前沿科研的眼睛”。根据最新消息，其最主体的隧道加速结构已经在上周封顶。
国机通用具备光刻机研发所必须的核心部件高精度环境控制和流体力学；且中标“光刻厂”合肥光源水冷系统，完美对标海立股份。
海立股份参与上海微电子光刻机冷却系统，涨幅近四倍，国机通用有望补涨！
