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卡脖子环节之一——半导体设备产业链梳理,国产替代/自主可控刻不容缓【北方华创】:北方华创致力于打造半导体设备平台型企业,布局了刻蚀/薄膜沉积/清洗/热处理四大领域,公司成功研发出HDPCVD、双大马士革CCP刻蚀机、立式炉ALD、高介电常数ALD等多款高端设备,并在多家客户端实现稳定量产,获得客户的一致好评。24Q3公司实现营收80.18亿元,同比增长30.12%,环比增长23.81%;归母净利润16.82亿元,同比增长55.02%,环比增长1.68%。
【中微公司】:中微公司是本土刻蚀设备龙头,并持续推进平台型设备公司建设,现已实现刻蚀设备全面覆盖,薄膜设备领域侧重于导体/半导体层的薄膜沉积设备,投资上海睿励布局检测设备。24Q3公司实现营收20.59亿元,同比增长35.96%,环比增长11.77%;其中,刻蚀设备收入达17.15亿元,同比增长49.41%,环比增长25.83%。归母净利润3.96亿元,同比增长152.63%,环比增长48.11%。公司预计2024年累计新增订单将达110-130亿元。
【拓荆科技】:拓荆科技PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD、超高深宽比沟槽填充CVD等薄膜设备产品系列及混合键合设备产品系列均已在客户端实现产业化应用,量产规模逐步扩大,其设备性能和产能均达到国际领先水平。受益于持续高强度的研发投入,24Q3公司新产品及新工艺机台在客户端验证取得突破性进展,实现营收10.11亿元,同比增长44.67%,环比增长27.14%,创历史新高;归母净利润1.42亿元,同比减少2.91%,环比增长19.87%。
【盛美上海】:盛美上海坚持“技术差异化”和“产品平台化”的战略,成功布局七大板块产品,可覆盖市场约200亿美元;其中清洗设备已覆盖95%工艺步骤应用,电镀设备实现技术全覆盖。24Q3公司实现营收15.73亿元,同比增长37.96%,环比增长6.09%;归母净利润3.15亿元,同比增长35.09%,环比减少13.22%;公司预计2024年全年营收为56.00~58.80亿元。2024年10月,公司设备研发与制造中心正式落成投产,预计将实现百亿产能。
【中科飞测】:中科飞测专注于高端半导体质量控制领域,坚持九大系列设备及三大系列软件的产品布局,为半导体行业客户提供涵盖设备产品、智能软件产品和相关服务的全流程良率管理解决方案。九大系列设备面向全部种类集成电路客户需求,其中六大系列设备已在国内头部客户批量量产应用,技术指标全面满足国内主流客户工艺需求,市占率稳步快速增长;另三大系列设备均已完成样机研发,并出货客户开展产线工艺验证和应用开发。三大系列智能软件已全部应用在国内头部客户。24Q3公司实现营收3.49亿元,同比增长56.79%,环比增长52.70%;归母净利润0.16亿元,同比减少51.39%,环比增长115.77%。
东京电子CCP刻蚀(中微公司);
➡日立/东京电子的炉管(北方华创、盛美上海);
➡日立/东京电子的原子层沉积(微导纳米,拓荆科技);
➡东京电子的显影涂胶(芯源微);
➡东京精密的CMP(华海清科);
➡日立的电子束(精测电子);
➡泰镭光电的量检测(精测电子、中科飞测、赛腾股份);
➡迪恩士的清洗机(盛美、至纯科技,北方华创);
➡离子注入设备(芯源微)。
➡沉积设备(北方华创、拓荆科技)
国内对标设备商有:
光刻机➡张江高科、奥普光电、茂来光学、福晶科技、波长光电、腾景科技等。
??美国半导体设备商应用材料、泛林半导体、科磊等;
➡国产对标公司有:精测电子、中微公司、北方华创、拓荆科技等。
➡先进制程代工:【中芯国际】作为自主可控核心基座,在当前时代背景下理应成为科技自主可控的茅台
➡光刻机产业链:【茂莱光学、福光股份、福晶科技、磁谷科技、阿为特】
➡半导体设备:【北方华创、中微公司、拓荆科技、中科飞测、芯源微、华海清科】
➡HBM产业链:【精智达、赛腾股份】
➡先进封装:【长电科技、通富微电、甬矽电子、兴森科技、天承科技】
$和而泰(SZ002402)$ $中国长城(SZ000066)$ $北方华创(SZ002371)$
